6月7日,日本特殊陶業(NGKNTK)宣布,公司決定在宮城縣富宮市高屋敷西區建設新工廠以滿足半導體市場需求,生產靜電吸盤、結構陶瓷制品,預計將于2025年4月投產。
日本特殊陶業由NGK和NTK組成,NTK ceratec主要負責向傳感器、電子元件、刀具、生物陶瓷、醫療應用、環境能源等廣泛領域提供技術陶瓷產品。據公告,由于社會和經濟數字化的快速發展,對半導體的需求正在增加,建設新工廠可以優化現有生產線,實現高效率、高品質制造。
現代半導體制造工藝中晶圓的加工過程有著多道工序,如等離子體浸沒離子摻雜、離子注入、物理氣相沉積、化學氣相沉積等,每一道工序都需要保證晶圓的平穩固定。通過靜電吸附作用來固定晶圓,其優點在于吸附作用均勻分布于晶圓表面,晶圓不會發生翹曲變形,吸附作用力持續穩定,可以保證晶圓的加工精度;靜電吸盤對晶圓污染小,對晶圓無傷,可以應用于高真空環境中。靜電吸盤通常采用氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷及藍寶石,目前芯片大廠所用的半導體加工設備上的氮化鋁靜電吸盤,大部分來自于NTK ceratec。